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Photomodulated Optical Reflectance

A Fundamental Study Aimed at Non-Destructive Carrier Profiling in Silicon
de

Éditeur :

Springer

Collection : Springer Theses

Paru le : 2012-06-26

One of the critical issues in semiconductor technology is the precise electrical characterization of ultra-shallow junctions. Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it su...
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Description du livre

One of the critical issues in semiconductor technology is the precise electrical characterization of ultra-shallow junctions. Among the plethora of measurement techniques, the optical reflectance approach developed in this work is the sole concept that does not require physical contact, making it suitable for non-invasive in-line metrology. This work develops extensively all the fundamental physical models of the photomodulated optical reflectance technique and introduces novel approaches that extend its applicability from dose monitoring towards detailed carrier profile reconstruction. It represents a significant breakthrough in junction metrology with potential for industrial implementation.

À propos

Auteur
Janusz Bogdanowicz
Éditeur
Springer
Collection
Springer Theses
Parution
2012-06-26
Pages
204 pages
EAN papier
9783642301070

Auteur(s) du livre


Defaut-Illustration Janusz Bogdanowicz

Caractéristiques détaillées - droits

EAN EPUB
9783642301087
Prix
94,94 €
Nombre pages copiables
2
Nombre pages imprimables
20
Taille du fichier
3717 Ko
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