Description du livre
Ce livre passe en revue les progrès des micro-/nano-électromètres de pointe et examine les défis technologiques liés à leur mise en œuvre pratique. La détection des charges électrostatiques a de nombreuses applications dans les chambres d'ionisation, les instruments de bio-analyse et de particules d'aérosol, les spectromètres de masse, les microscopes à effet tunnel à balayage et même les ordinateurs quantiques. La conception de micro-/nano-électromètres (également appelés capteurs de charge) pour l'électrométrie est considérée comme vitale en raison des problèmes de sensibilité à la charge et de résolution aux micro-/nano-échelles. Les systèmes micro-électromécaniques (MEMS) et nanoélectromécaniques (NEMS), remarquablement dynamiques, et les progrès de l'électronique à l'état solide, offrent un potentiel considérable pour la conception et la fabrication de capteurs de charge extrêmement sensibles.