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Spectroscopic Ellipsometry

Principles and Applications

Éditeur :

Wiley

Paru le : 2007-09-27

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data ...
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Description du livre

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

À propos

Auteur
Hiroyuki Fujiwara
Éditeur
Wiley
Collection
n.c
Parution
2007-09-27
Pages
392 pages
EAN papier
9780470016084

Auteur(s) du livre


Defaut-Illustration Hiroyuki Fujiwara

Caractéristiques détaillées - droits

EAN PDF
9780470060186
Prix
173,99 €
Nombre pages copiables
0
Nombre pages imprimables
392
Taille du fichier
15739 Ko
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